粉末冶金等離子和等離子加工技術(shù),SPS使用放電等離子進(jìn)行燒結(jié)。等離子體是物質(zhì)在高溫或特定激發(fā)下的一種狀態(tài)。它是除固態(tài)、液態(tài)和氣態(tài)之外的第四種物質(zhì)狀態(tài)。等離子體是一種電離氣體,由大量帶正負(fù)電的粒子和中性粒子組成,是一種表現(xiàn)集體行為的準(zhǔn)中性氣體。
粉末冶金等離子體是一種可提供高反應(yīng)性狀態(tài)的離解高溫導(dǎo)電氣體。等離子體溫度為4000~10999℃,氣態(tài)分子和原子處于高度活化狀態(tài),等離子體氣體中的電離度很高。這些特性使等離子體成為非常重要的材料制備和加工技術(shù)。等離子加工技術(shù)得到廣泛應(yīng)用,如等離子CVD、低溫等離子PBD、等離子和離子束蝕刻等。目前,等離子體主要用于氧化物涂層和等離子體蝕刻,在制備高純度碳化物和氮化物粉末方面也有一定的應(yīng)用。等離子體的另一個(gè)有前景的應(yīng)用領(lǐng)域是陶瓷材料的燒結(jié)。
產(chǎn)生等離子體的方法包括加熱、放電和光激發(fā)。放電產(chǎn)生的等離子體包括直流放電、射頻放電和微波放電等離子體。SPS使用直流放電等離子體。
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